[뉴스핌 라씨로] 유니셈 "극저온 칠러·플라즈마 스크러버 퀄 테스트 진... > 경제기사 | economics

극저온 칠러 장비 -80°C 수준까지 대응 가능

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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체·디스플레이 장비 전문업체 유니셈이 주요 고객사에 극저온 칠러 장비 및 플라즈마 스크러버 장비 퀄품질 테스트를 진행하고 있다. 최근 반도체 공정이 미세화되면서 극저온 식각장비 도입과 친환경 스크러버 수요가 증가해 수혜가 예상된다.

유니셈 관계자는 6일 "극저온 식각기가 최저온 -70~80°C 환경의 가동으로 칠러 장비도 이 온도대역인 -80°C 수준까지 대응이 필요하다. 주요 고객사로 관련 장비 퀄 테스트가 진행 중으로 연내 테스트는 마무리 될 것으로 보고 있다"며 "현재 낸드 업황이 더디게 올려가고 있기에 올해 테스트를 잘 마무리 한 후, 내년에 관련 성과가 나오길 기대하고 있다"고 말했다.

칠러는 공정 효율을 개선하는 온도조절 장비다. 공정 과정에서 웨이퍼 표면의 온도 범위가 커지면 생산 수율이 떨어져, 웨이퍼 표면의 온도를 일정하게 유지해 생산 수율을 높이는데 칠러가 사용된다. 최근 반도체가 미세화 되면서 식각공정에서 온도 대역을 미세하게 컨트롤할 수 있는 칠러 장비는 기존보다 높은 성능의 제품을 필요로 한다.

그동안 유니셈이 주력으로 공급하고 있는 칠러는 -30~40°C 수준의 온도를 구현해 왔다. 최근 낸드용 극저온 식각 공정이 -70~-80°C 수준의 온도 환경에서 더 정밀하고 빠른 식각을 구현하는 신규 장비들이 개발되면서 칠러도 -80°C 수준까지 온도를 낮출 수 있도록 요구되고 있다.

유니셈 로고. [로고=유니셈]

1988년 설립한 유니셈은 반도체·디스플레이 제조 공정상 발생되는 유해가스 정화 장치 스크러버와 챔버 및 웨이퍼의 온도조절 장치 칠러를 생산 및 판매한다. 국내 시장 점유율은 지난해 기준 스크러버가 30.5%, 칠러가 34%이상 차지했다. 주요 고객사는 삼성전자·SK하이닉스 등이 있다.

유니셈은 지난해 주요 고객사의 고대역폭메모리HBM 제조 공정에 필요한 실리콘관통전극TSV 라인에 필요한 플라즈마 스크러버 장비를 공급했다. HBM 제조 공정에 플라즈마 스크러버를 공급에 이어 올해는 전공정 신규 적용을 추진하며 퀄 테스트를 진행 중에 있다. 유니셈은 다양한 스크러버 라인업을 경쟁력으로 내세워 수주 확대에 전념할 계획이다.

유니셈 관계자는 "지난해 하반기 플라즈마 스크러버 장비가 TSV 후공정으로 들어갔다. 향후 전공정으로 진입을 위해 현재 주요 고객사로 퀄 테스트가 진행되고 있다"며 "칠러 장비처럼 이 테스트 역시 연내 마무리될 것으로 본다. 스크러버 및 칠러 장비 모두 좋은 테스트 결과를 받을 것을 기대하며 반도체 기업들의 본격적 투자가 진행 됐을 때, 긍정적 성과를 보여주기 위해 집중하고 있다"고 밝혔다.

스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 유독가스와 각종 오염물질을 정화하는 세정장치다. 주로 삼성전자에서 사용해온 번 타입Burn Type과 SK하이닉스에서 주로 사용하는 방식의 플라즈마 타입Plasma Type이 있다. 번 타입은 LNG로 열을 내 유해가스를 태워 정화하는 방식이며, 플라즈마 타입은 전기로 플라즈마를 만들어 유해가스를 태워 정화하는 방식이다.

SK하이닉스는 지난 2013년 스크러버 타입을 기존 연소식에서 플라즈마로 변경했으며, 삼성전자도 지난해 HBM 공정에 플라즈마 스크러버를 처음으로 도입했다. 또한 삼성전자는 향후 있을 제4 평택캠퍼스P4 등 전공정 투자에서도 플라즈마 스크러버로의 전환을 추진할 것으로, 현재 이를 위한 장비 테스트가 P3에서 진행 중인 것으로 알려져 있다.

유니셈은 국내 스크러버 시장점유율 1위 업체로, 번타입·플라즈마 타입 외 스크러버부터 촉매를 활용한 웨트Wet타입 등 다양한 라인업 갖추고 있다. 반도체업계에서는 내년 D램을 중심으로 스크러버 수요 확대 예상을 통해 유니셈의 수혜를 기대하고 있다.

이재모 그로쓰리서치 연구원은 "유니셈은 모든 스크러버 타입을 할 수 있는 국내에서 유일한 기업으로, 유일하게 삼성전자와 SK 하이닉스 모두 납품하고 있다며 "ESG 경영으로 식각공정, 증착공정, 넘어서 후공정 등으로 스크러버 장비가 도입되는 공정이 확대되고 있어, 유니셈의 스크러버 매출이 늘어날 것으로 보인다"고 전했다.

nylee54@newspim.com

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