신영수 KAIST 교수 이달의과학기술인상
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10월 이달의 과학기술인상에 신영수 KAIST 전기 및 전자공학부 교수가 선정됐다고 과학기술정보통신부와 한국연구재단이 4일 밝혔다. 신 교수는 기존보다 10배 이상 빠르고 해상도가 높은 반도체 리소그래피 최적화 기술을 개발한 공로를 인정받았다. 반도체 리소그래피는 패턴이 새겨진 마스크에 빛을 비춰 반도체 웨이퍼상에 소자를 형성해가는 과정을 뜻한다. 패턴이 정확하게 만들어져야 반도체 공정이 원활하게 진행된다. [고재원 기자] ▶ 추석선물로 받은 참치·스팸 통조림, 무심코 먹었다가는 큰 코 ▶ “우체국입니다”라고 해서 믿었는데…111억 날렸다 ▶ ‘세계에서 가장 평화로운 나라’ 일본 9위, 미국 131위…한국은? ▶ “최고급으로 짓고 3.6억원씩 돌려드려요” 재건축 수주전 불붙은 이곳 ▶ 입주 2주만에 경매로 넘어간 내 집 어떡하나…법원 “공인중개사도 배상” Copyright ⓒ 매일경제. All rights reserved. 무단 전재, 재배포 및 AI학습 이용 금지. |
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