HPSP vs 예스티 결과 5월 연기…수성?반격? '반도체 어닐링' 시장 관심

- 웨이퍼 결함을 개선하는 고압 어닐링 장비 시장 독점 깨질지 주목
- 독점 공급하는 HPSP와 예스티 특허침해 소송 결과 한 달 연기
- 소송 결과 여부에 따라 반도체 시장 급변할 듯


[이데일리 김영환 기자] 웨이퍼 결함을 개선하는 고압 어닐링 장비 시장의 독점여부를 가릴 수 있는 특허무효심판 결과가 이 달말로 미뤄졌다. 특허기술을 보유한 HPSP(403870)가 수성할 수 있을지 해당 시장 진입을 노리는 예스티(122640)의 반격이 통할 지 시장의 관심이 집중된다.

4일 업계에 따르면 특허심판원은 최근 예스티가 HPSP를 상대로 제기한 특허무효심판과 권리범위확인심판의 판단을 다시 연기됐다. 지난 3월 판결 예정이던 해당 심판은 HPSP의 요청으로 한 달 연기됐고 다시 심판원의 결정으로 5월말까지 밀렸다.

이번 판결은 HPSP가 특허를 바탕으로 독점적 지위를 유지하고 있는 고압 어닐링 장비 시장의 향후 방향이 달렸다는 점에서 중시된다. HPSP는 독점 공급으로 시장에서 높은 가치를 부여받고 있다. 다만 반도체 기업에서는 시장 경쟁으로 장비 가격이 낮아질 수 있는 지에 관심을 모으고 있다.


고압 어닐링 장비는 반도체의 미세화 공정에서 필수적인 장비다. 웨이퍼와 절연막 사이의 계면 결함을 제거해주는 역할을 한다. 고압의 수소로 계면을 안정화 하면 전자의 이동량이 증가해 트랜지스터 성능을 높일 수 있다.

HPSP의 시장 독주를 막겠다고 나선 기업은 예스티다.

HPSP는 예스티가 자사 특허를 침해했다며 지난해 9월 특허침해 소송을 제기했고 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다. HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.

특허심판원이 HPSP의 손을 들어주면 기업 가치를 안정적으로 유지할 수 있을 전망이다. HPSP는 시가총액이 3조원이 넘는 코스닥 시장 내 ‘톱 텐’ 안에 꼽히는 기업이다. 최근 최대주주인 크레센도에쿼티파트너스의 매각설이 나오는 등 시장에서 높은 관심을 받고 있다.

예스티가 승소하면 시장급변 가능성이 높아진다. 사실상 독점 체제가 깨지면서 경쟁 구도가 되면 장비 가격이 낮아질 수밖에 없다. 삼성전자(005930), SK하이닉스(000660) 등 대기업 입장에서도 귀추가 주목되는 결과다.

업계 관계자는 “특허심판원 입장에서도 이번 심판에 대한 판결이 시장에 미치는 영향력이 높아 심사숙고를 하는 것으로 보인다”며 “공급선이 다양해질지 HPSP의 시장 지배력이 공고해질지가 달렸다”고 말했다.

양사 모두 승소를 자신하는 상황이다. HPSP 측은 “확실한 특허를 확보한 상황에서 예스티가 신규로 진입하기는 어려울 것”이라고 말했다. 예스티 관계자도 “자사의 고압 어닐링 장비의 성능이 뛰어나 특허 문제만 해결되면 즉시 수주가 가능할 것”이라고 했다.

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김영환 kyh1030@